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Master Thesis

Étude et développement de l'informatisation du projet MALT (Mesure automatique de largeur de traits des circuits intégrés)

Résumé : Ce mémoire décrit l'étude et la réalisation de l'informatisation de la méthode MALT (Mesure automatique de largeur de traits). Cette méthode est spécialement adaptée à la mesure des motifs sur plaquette dans la gamme de 0,7 à 5 microns. MALT effectue la transformée de Fourier de la répartition d'intensité dans l'image du motif fournie par un microscope optique. Un traitement numérique tenant compte des phénomènes de diffraction détermine, à partir des zéros du spectre de l'image, la largeur du trait. La mesure ainsi obtenue est précise, reproductible, indépendante de la composition du motif mécanique et des paramètres expérimentaux. Sa justesse est meilleure que 2 %.
Complete list of metadata

https://dumas.ccsd.cnrs.fr/dumas-00322924
Contributor : Grenoble Cnam <>
Submitted on : Friday, September 19, 2008 - 9:26:29 AM
Last modification on : Monday, February 15, 2021 - 3:19:31 AM
Long-term archiving on: : Thursday, June 3, 2010 - 9:47:22 PM

Identifiers

  • HAL Id : dumas-00322924, version 1

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Citation

Annick Genin. Étude et développement de l'informatisation du projet MALT (Mesure automatique de largeur de traits des circuits intégrés). Architectures Matérielles [cs.AR]. 1986. ⟨dumas-00322924⟩

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