Étude et développement de l'informatisation du projet MALT (Mesure automatique de largeur de traits des circuits intégrés) - DUMAS - Dépôt Universitaire de Mémoires Après Soutenance Access content directly
Master Thesis Year : 1986

Étude et développement de l'informatisation du projet MALT (Mesure automatique de largeur de traits des circuits intégrés)

Abstract

Ce mémoire décrit l'étude et la réalisation de l'informatisation de la méthode MALT (Mesure automatique de largeur de traits). Cette méthode est spécialement adaptée à la mesure des motifs sur plaquette dans la gamme de 0,7 à 5 microns. MALT effectue la transformée de Fourier de la répartition d'intensité dans l'image du motif fournie par un microscope optique. Un traitement numérique tenant compte des phénomènes de diffraction détermine, à partir des zéros du spectre de l'image, la largeur du trait. La mesure ainsi obtenue est précise, reproductible, indépendante de la composition du motif mécanique et des paramètres expérimentaux. Sa justesse est meilleure que 2 %.
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Genin.Annick_1986_ing_cnam.pdf (7.96 Mo) Télécharger le fichier

Dates and versions

dumas-00322924 , version 1 (19-09-2008)

Identifiers

  • HAL Id : dumas-00322924 , version 1

Cite

Annick Genin. Étude et développement de l'informatisation du projet MALT (Mesure automatique de largeur de traits des circuits intégrés). Architectures Matérielles [cs.AR]. 1986. ⟨dumas-00322924⟩

Collections

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