Mise en œuvre de l'expansion continue pour le raccordement en basses pressions absolues du μPa au mPa - DUMAS - Dépôt Universitaire de Mémoires Après Soutenance Accéder directement au contenu
Mémoires Année : 2013

Mise en œuvre de l'expansion continue pour le raccordement en basses pressions absolues du μPa au mPa

Résumé

To improve uncertainty of absolute pressure measurements between 1,0 μPa and 1,0 mPa, the Joint Laboratory for Metrology (Laboratoire Commun de Métrologie or LCM) wishes to implement the primary method known as continuous expansion. To begin with, the constant pressure gas flowmeter required for this implementation was designed in 2010. The calibration chamber is equipped with an adjustable conductance. The reference pressure generated downstream the conductance is deduced from the measurement of the injected gas flow and the pressure upstream from the conductance together with the value of the conductance determined previously and the pressure ratio. In this dissertation, the optimization of the adjustable conductance is studied and a detailed assessment of uncertainty of the reference pressure generated with the continuous expansion method is carried out based on the metrological characterization of its various components. Calibration of a hot cathode ionization gauge allows comparison of the continuous expansion method with that used so far based on secondary standards.
Pour améliorer les incertitudes de mesures des pressions absolues comprises entre 1,0 μPa et 1,0 mPa, le Laboratoire Commun de Métrologie (LCM) souhaite mettre en œuvre la méthode primaire dite de l’expansion continue. Au préalable, le fluxmètre gazeux à pression constante nécessaire à cette mise en œuvre a été conçu en 2010. L’enceinte d’étalonnage est équipée d’une conductance variable. La pression de référence générée en aval de la conductance est déduite de la mesure du flux gazeux injecté et de la pression en amont de la conductance ainsi que de la détermination de la valeur de celle-ci et du rapport de pressions établis. Dans ce mémoire, l’optimisation de la conductance est étudiée puis un bilan d’incertitudes détaillé sur la pression de référence générée avec la méthode de l’expansion continue est proposé à partir de la caractérisation métrologique de ses différentes composantes. L’étalonnage d’un manomètre à ionisation de type cathode chaude permet la comparaison de la méthode d’expansion continue avec celle utilisée jusqu’à présent, basée sur des étalons secondaires.
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2013.TH.18468.Guillou.Julien.pdf (4.52 Mo) Télécharger le fichier

Dates et versions

dumas-01255112 , version 1 (13-01-2016)

Identifiants

  • HAL Id : dumas-01255112 , version 1

Citer

Julien Guillou. Mise en œuvre de l'expansion continue pour le raccordement en basses pressions absolues du μPa au mPa. Autre. 2013. ⟨dumas-01255112⟩
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