Utilisation de micropoutres sans couche sensible en vibration pour la détection d'espèces gazeuses : réalisation d'un réseau gaz pilotable - DUMAS - Dépôt Universitaire de Mémoires Après Soutenance
Master Thesis Year : 2010

Utilisation de micropoutres sans couche sensible en vibration pour la détection d'espèces gazeuses : réalisation d'un réseau gaz pilotable

Abstract

This report concerns study and optimization of the needed instrumentation for the characterization of silicon cantilevers, which are included in the family of the ElectroMechanical MicroSystems (MEMS), used notably for the detection of a lot of variety of analytes. In order to characterize the behaviour of cantilevers to a change of the physical properties of the surrounding media, the first part of this study concerns the realization of a new gas network pilotable under LabVIEW, which will allow to generate a gas mixture, under controlled flow, by defining a desired concentration of one or several constituents of the mixture. The second part concerns the use of this gas network and available silicon microcantilevers in the IMS Laboratory, to perform chemical detections in gaseous environment. The principle of detection is based on the dependency of both the density and the viscosity of gaseous mixtures, according to the concentration of analytes. Measurements will be performed with different gas mixtures and microcantilevers. The results will be confronted to the analytical models.
Ce mémoire concerne l'étude et l'optimisation de l'instrumentation nécessaire à la caractérisation de micropoutres en silicium, de la famille des microsystèmes électromécaniques (MEMS), utilisées notamment pour la détection d'une grande variété d'analytes. Afin de caractériser le comportement des micropoutres vis à vis d'un changement de propriétés physiques du fluide environnant, une première partie de cette étude concerne la réalisation d'un nouveau réseau gaz pilotable sous LabVIEW, qui permettra de générer un mélange de gaz, sous débit contrôlé, en définissant une concentration massique souhaitée d'un ou plusieurs constituants du mélange. La deuxième partie concerne l'utilisation de ce réseau gaz et des micropoutres en silicium disponibles au Laboratoire IMS pour effectuer des détections chimiques en milieu gazeux. Le principe de la détection est essentiellement basé sur la dépendance de la masse volumique et de la viscosité des mélanges gazeux en fonction de la concentration des espèces. Les mesures seront effectuées avec différents mélanges de gaz et de micropoutres et les résultats seront confrontés aux modèles analytiques existants.
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Dates and versions

dumas-00523378 , version 1 (05-10-2010)

Identifiers

  • HAL Id : dumas-00523378 , version 1

Cite

Vincent Cuisset. Utilisation de micropoutres sans couche sensible en vibration pour la détection d'espèces gazeuses : réalisation d'un réseau gaz pilotable. Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]. 2010. ⟨dumas-00523378⟩
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